近日，晶圓廠自動化設(shè)備企業(yè)彌費(fèi)科技宣布完成超億元A輪融資，本輪融資由啟明創(chuàng)投領(lǐng)投，金浦智能、紅曄資本跟投。彌費(fèi)科技表示，本輪融資資金將用于擴(kuò)大公司運(yùn)營規(guī)模、加大研發(fā)投入、拓展海外市場等。

 

資料顯示，彌費(fèi)科技于2014年在上海成立，是一家技術(shù)驅(qū)動型的晶圓廠自動化設(shè)備公司，專注于生產(chǎn)、研發(fā)、銷售適用于晶圓廠的自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS，Automated Material Handling System）。

 

在晶圓廠中，AMHS是工廠稼動率及品質(zhì)一致性的重要保證之一。以28nm工藝節(jié)點(diǎn)為例，需要的平均光刻層數(shù)約50層、工藝步驟超過1000步、生產(chǎn)周期約90天，該工藝節(jié)點(diǎn)4萬片月產(chǎn)能的全自動晶圓廠每天的晶圓盒傳送量超10萬次，此時(shí)AMHS系統(tǒng)“兩高”（高效率、高可靠性）、“兩低”（低塵、低振動）特點(diǎn)就變得至關(guān)重要，高效的AMHS系統(tǒng)有助于提升效率，減少人員對無塵車間及晶圓品質(zhì)的影響。

 

據(jù)介紹，彌費(fèi)科技核心團(tuán)隊(duì)均來自于國內(nèi)外一線集成電路晶圓廠和半導(dǎo)體設(shè)備公司，對晶圓廠的運(yùn)作以及相應(yīng)的自動化生產(chǎn)系統(tǒng)有著豐富的從業(yè)經(jīng)驗(yàn)。公司不僅擁有豐富全面的產(chǎn)品線，而且掌握核心技術(shù)，供應(yīng)鏈安全可控。在產(chǎn)品和服務(wù)方面，彌費(fèi)科技貼近客戶的核心關(guān)注點(diǎn)，為半導(dǎo)體各領(lǐng)域龍頭企業(yè)提供多樣化、自動化的解決方案。公司自2016年起已為國內(nèi)外多個(gè)8英寸和12英寸晶圓廠提供AMHS產(chǎn)品，包括調(diào)度軟件、傳送和存儲設(shè)備及凈化設(shè)備等。

 

彌費(fèi)科技創(chuàng)始人兼CEO繆峰表示，彌費(fèi)科技致力于成為一家具有全球影響力的半導(dǎo)體自動化設(shè)備公司，A輪融資是彌費(fèi)科技踏入資本市場的第一步，也是加速公司為晶圓廠客戶提供整套AMHS的重要一步。

 

啟明創(chuàng)投合伙人葉冠泰表示，彌費(fèi)科技團(tuán)隊(duì)具有豐富的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，在自動化物料設(shè)備領(lǐng)域提前布局，具備交期和性價(jià)比優(yōu)勢，有機(jī)會抓住國內(nèi)晶圓廠客戶采購國產(chǎn)設(shè)備意愿提高的歷史機(jī)遇，助力產(chǎn)業(yè)升級。