過去，石英和硅被用于制造聚焦環(huán)。但隨著在先進(jìn)晶圓制造中使用干法蝕刻而不是濕法蝕刻的情況有所增加，對由碳化硅（SiC）制成的聚焦環(huán)的需求也在增加。SiC 環(huán)比純硅環(huán)更耐用，使用壽命更長，這有助于公司降低生產(chǎn)成本。SiC 環(huán)每 15 到 20 天需要更換一次，而硅環(huán)每 10 到 12 天需要更換一次。

 

三星現(xiàn)在正在尋找碳化硼（B4C）來替代 SiC。消息人士稱，三星目前正在與擁有 B4C 相關(guān)技術(shù)的合作伙伴合作，對 B4C 聚焦環(huán)進(jìn)行質(zhì)量測試。B4C 硬度更高，這意味著它們的單位使用時間更長。然而，三星需要克服可靠性問題。消息人士稱，在當(dāng)前階段，環(huán)表面出現(xiàn)了顆粒。消息人士還說，三星還需要衡量用 B4C 替代 SiC 的經(jīng)濟(jì)可行性。