據(jù)華懋科技官方消息，華懋科技旗下徐州博康近期收到某國(guó)內(nèi)主流存儲(chǔ)芯片廠商的半導(dǎo)體光刻膠采購(gòu)訂單，此前該產(chǎn)品型號(hào)全部依賴于海外進(jìn)口。

 

據(jù)悉，該產(chǎn)品系徐州博康HTI560系列光刻膠，是基于對(duì)羥基苯乙烯聚合物樹(shù)脂的化學(xué)放大型光刻膠。

 

該產(chǎn)品所用原材料包括單體、樹(shù)脂及光酸100%由博康自主生產(chǎn)，其在客戶端的整個(gè)測(cè)試認(rèn)證周期近2年，其放量采購(gòu)標(biāo)志著徐州博康半導(dǎo)體光刻膠在國(guó)內(nèi)主流12寸晶圓廠獲得了正式認(rèn)可。

 

此外，考慮到該款產(chǎn)品的適用性很強(qiáng)，博康已經(jīng)開(kāi)始積極拓展其他客戶，根據(jù)不同客戶產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同對(duì)該款光刻膠進(jìn)行微調(diào)，最終實(shí)現(xiàn)該類產(chǎn)品的商業(yè)價(jià)值最大化。

 

 

公開(kāi)資料顯示，徐州博康是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹(shù)脂為主的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。公司專注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹(shù)脂、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國(guó)產(chǎn)化自主可控的供應(yīng)鏈。

 

2021年年初，華懋科技表示確立在新材料領(lǐng)域積極布局的發(fā)展方向，將通過(guò)公司參與的產(chǎn)業(yè)基金投資布局，逐步進(jìn)入半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域。2021年華懋科技便兩度通過(guò)東陽(yáng)凱陽(yáng)對(duì)徐州博康進(jìn)行投資，加速光刻膠領(lǐng)域布局。

 

2021年1月3日，華懋科技旗下產(chǎn)業(yè)基金——東陽(yáng)凱陽(yáng)科技創(chuàng)新發(fā)展合伙企業(yè)對(duì)外投資公告稱，東陽(yáng)凱陽(yáng)于2020年12月30日，與傅志偉、上海博康、徐州博康簽署了《投資協(xié)議》及其附屬文件。華懋科技通過(guò)東陽(yáng)凱陽(yáng)對(duì)徐州博康進(jìn)行投資，將切入半導(dǎo)體關(guān)鍵材料光刻膠領(lǐng)域。

 

2021年9月11日，華懋科技發(fā)布公告，公司擬對(duì)全資子公司華懋東陽(yáng)增資6億元人民幣。隨后，華懋東陽(yáng)擬以自有資金對(duì)參與設(shè)立的合伙企業(yè)東陽(yáng)凱陽(yáng)進(jìn)行增資，增資金額為4.5億元人民幣。不久，東陽(yáng)凱陽(yáng)擬與徐州博康、東陽(yáng)市金投控股集團(tuán)有限公司、袁晉清先生簽署《合資協(xié)議》共同發(fā)起設(shè)立合資公司陽(yáng)芯華電子材料有限公司，擬從事光刻材料的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，其中東陽(yáng)凱陽(yáng)認(rèn)繳注冊(cè)資本2.8億元人民幣，持股比例40%。

 

值得關(guān)注的是，8月10日，徐州博康工商信息發(fā)生變更，新增深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)（有限合伙）為股東。

 

在產(chǎn)能上擴(kuò)建上，2021年，徐州博康新一代的光刻膠單體通過(guò)了英特爾、三星等世界大廠的認(rèn)證并成功上線，并且年產(chǎn)1100噸光刻材料及10000噸電子級(jí)溶劑的新工廠在邳州投入使用。

 

2021年6月下旬，華懋科技表示，徐州博康的新工廠已從6月25日進(jìn)入試生產(chǎn)，在三個(gè)月試生產(chǎn)期結(jié)束后有望正式量產(chǎn)。隨著博康新產(chǎn)業(yè)基地的投入運(yùn)營(yíng)，博康的光刻膠成品及上游單體材料將快速增長(zhǎng)，完全達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能是原有的5倍以上，光刻膠單體和光刻膠系列產(chǎn)品的營(yíng)收將分別至少為10億元和4億元，較2020年提升巨大。

 

目前，博康的i-line/KrF/ArF/ArF immersion等多個(gè)系列產(chǎn)品正在國(guó)內(nèi)主流的邏輯芯片與存儲(chǔ)芯片廠進(jìn)行評(píng)估驗(yàn)證。尤其是高端的KrF高分辨率產(chǎn)品及ArF immersion產(chǎn)品，性能指標(biāo)方面數(shù)據(jù)已經(jīng)獲得了客戶端的良好評(píng)價(jià)結(jié)果。此外，博康還有多個(gè)ArF immersion//KrF/i-line產(chǎn)品積極開(kāi)發(fā)中，包含immersion NTD光刻膠，KrF高深寬比厚膠等。