據(jù)路透社報(bào)道,半導(dǎo)體設(shè)備巨頭ASML的新一代High-NA EUV設(shè)備訂價(jià)約4億美元(折合27億人民幣)。
相比之下,上一代EUV光刻機(jī)售價(jià)大約1.2億美元,意味著新一代光刻機(jī)售價(jià)提升了兩倍多。不過新一代光刻機(jī)設(shè)備精密度更高、所使用的零部件更多,機(jī)型比上一代大出30%,如同雙層巴士大小。
據(jù)悉,ASML原型機(jī)將在2023年上半年完成。目前公司對外表示,2021年第四季度已收到5個(gè)預(yù)定High-NA EUV的訂單。
至于新一代光刻機(jī)的首批用戶是誰也不難猜想,目前臺積電、三星是全球僅有的能在先進(jìn)工藝制程上一較高下的對手。
根據(jù)規(guī)劃,臺積電、三星都計(jì)劃在今年下半年量產(chǎn)3nm工藝,目前它們所采用的EUV光刻機(jī)為第一代,據(jù)稱第一代EUV光刻機(jī)生產(chǎn)3nm已幾乎達(dá)到極限,它們研發(fā)更先進(jìn)的2nm乃至更先進(jìn)的工藝就需要采用ASML最新的High-NA EUV光刻機(jī)。
