10 月 25 日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司宣布：全球第 500 臺(tái) MOCVD 設(shè)備順利付運(yùn)國內(nèi)一家專業(yè)從事 LED 外延片和芯片的研發(fā)生產(chǎn)制造商。本批次運(yùn)付的第 500 臺(tái) MOCVD 設(shè)備為中微公司 2021 年 6 月推出的 Prismo UniMax ®，主要用于氮化鎵基 Mini LED 外延片量產(chǎn)。

作為專為高性能 Mini LED 量產(chǎn)而設(shè)計(jì)的 MOCVD 設(shè)備，Prismo UniMax ® 具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點(diǎn)，在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá) 4 個(gè)反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔均可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制。Prismo UniMax ® 配置了 785mm 大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設(shè)計(jì)配置，最多可實(shí)現(xiàn)同時(shí)加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。此外，Prismo UniMax ® 創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度提升 LED 波長均勻性。