近日，清楓資本正式完成對(duì)國內(nèi)高端半導(dǎo)體光刻膠廠商徐州博康的數(shù)千萬元投資交割。徐州博康成立于2010年，專注于中高端光刻膠及相關(guān)原材料研發(fā)制造，致力于推動(dòng)半導(dǎo)體關(guān)鍵材料國產(chǎn)化進(jìn)程。公司生產(chǎn)基地位于江蘇邳州，在上海松江擁有獨(dú)立的研發(fā)中心。

據(jù)悉，目前，徐州博康已實(shí)現(xiàn)“單體——樹脂、光酸——光刻膠”全國產(chǎn)化、全產(chǎn)業(yè)鏈布局，擁有ArF/KrF光刻膠單體、ArF/KrF光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品，覆蓋集成電路制造、后段封裝、化合物半導(dǎo)體、分立器件、電子束等市場(chǎng)應(yīng)用，研發(fā)儲(chǔ)備全球80%的光刻膠單體產(chǎn)品技術(shù)，其中KrF光刻膠單體占全球份額超過20%。

清楓資本消息顯示，在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，徐州博康已研發(fā)高端ArF光刻膠26款，其中應(yīng)用于通孔工藝的ArF濕法光刻膠，已經(jīng)能夠應(yīng)用至40nm/28nm工藝節(jié)點(diǎn)，是國內(nèi)第一款國產(chǎn)化的ArF濕法通孔光刻膠；已研發(fā)高端KrF光刻膠30款，其中主要針對(duì)lift-off工藝的金屬剝離負(fù)膠，底部倒角可控，是目前國內(nèi)唯一可提供此類KrF的產(chǎn)品。