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南大光電:已建成年產(chǎn)5噸ArF干式光刻膠生產(chǎn)線

日期:2023-03-29 閱讀:289
核心提示:《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》29日訊,南大光電近期在接受投資者調(diào)研時(shí)表示,公司年產(chǎn)25噸的ArF高端光刻膠生產(chǎn)線尚未滿產(chǎn)。正在抓緊ArF光刻膠產(chǎn)

 《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》29日訊,南大光電近期在接受投資者調(diào)研時(shí)表示,公司年產(chǎn)25噸的ArF高端光刻膠生產(chǎn)線尚未滿產(chǎn)。正在抓緊ArF光刻膠產(chǎn)品認(rèn)證和市場(chǎng)拓展工作,具體量產(chǎn)時(shí)間需根據(jù)訂單情況確定。已建成年產(chǎn)5噸ArF干式光刻膠生產(chǎn)線、年產(chǎn)20噸ArF浸沒(méi)式光刻膠生產(chǎn)線及年產(chǎn)45噸的光刻膠配套高純?cè)噭┥a(chǎn)線,具備ArF光刻膠及配套關(guān)鍵組分材料的生產(chǎn)能力。目前公司送樣驗(yàn)證的產(chǎn)品均由該自建產(chǎn)線產(chǎn)出,且已有兩款產(chǎn)品分別在下游客戶存儲(chǔ)芯片50nm和邏輯芯片55nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品上通過(guò)認(rèn)證,并實(shí)現(xiàn)少量銷(xiāo)售。

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