晶盛機(jī)電5月16日在投資者互動平臺表示，公司現(xiàn)采用物理氣相傳輸法進(jìn)行碳化硅晶體生長，公司已掌握行業(yè)領(lǐng)先的8英寸碳化硅襯底技術(shù)和工藝，并建設(shè)了6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環(huán)節(jié)的研發(fā)實(shí)驗(yàn)線，通過持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新和工藝積累，逐步實(shí)現(xiàn)大尺寸碳化硅晶體生長和加工技術(shù)的自主可控。