近日，西安和其光電科技股份有限公司(以下簡稱“和其光電”)最新研發(fā)的多款紅外測溫設(shè)備成功交付，標(biāo)志著我國半導(dǎo)體領(lǐng)域又一關(guān)鍵設(shè)備實現(xiàn)了國產(chǎn)替代，突破了“卡脖子”難題。

半導(dǎo)體制造需要經(jīng)歷晶圓生長、外延、刻蝕等多個工序，在每個工序中，溫度的控制和監(jiān)測對于確保產(chǎn)品質(zhì)量和一致性至關(guān)重要。長期以來，我國半導(dǎo)體領(lǐng)域的高端測溫設(shè)備一直被國外廠商壟斷，成為制約芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”難題。尤其近年來，在美國的極力遏制打壓下，國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)已經(jīng)遭遇“斷供”，國產(chǎn)替代刻不容緩、迫在眉睫。

“2022年8月，我們瞄準(zhǔn)國產(chǎn)替代，啟動了技術(shù)攻關(guān)，與行業(yè)伙伴共渡難關(guān)。”和其光電研發(fā)總監(jiān)方笑塵說。

經(jīng)過研發(fā)人員夜以繼日持續(xù)攻堅克難，最終，半導(dǎo)體的紅外測溫領(lǐng)域所有技術(shù)路線都被打通，測溫精度最高達到±0.15%，各項指標(biāo)已經(jīng)達到或超過國外同類產(chǎn)品。在此基礎(chǔ)上，和其光電一鼓作氣相繼推出了十幾款產(chǎn)品，以滿足各類半導(dǎo)體企業(yè)的不同需求。

據(jù)方笑塵介紹，和其光電目前已經(jīng)有比色紅外、單色紅外及光導(dǎo)管型三款測溫設(shè)備成功交付客戶，另外還有8款樣機正在接受驗證。“隨著這些產(chǎn)品的日漸成熟，我國半導(dǎo)體測溫設(shè)備突破封鎖、實現(xiàn)國產(chǎn)替代便指日可待。”

冰凍三尺，非一日之寒，和其光電的技術(shù)突破，也非短短數(shù)月之功。

和其光電成立于2011年，是在西安高新區(qū)“一院一所一校”模式下，由中科院西安光機所孵化的高科技企業(yè)。自成立以來，和其光電依托中科院西安光機所50多年的技術(shù)積累，以市場需求為導(dǎo)向，在測溫領(lǐng)域持續(xù)深耕，曾成功獲得首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜優(yōu)秀獎、國家電網(wǎng)科學(xué)技術(shù)二等獎、河北省科學(xué)技術(shù)進步二等獎、中國電工技術(shù)協(xié)會科學(xué)技術(shù)進步一等獎、中國電力聯(lián)合會年度電力科技創(chuàng)新一等獎等一系列科技創(chuàng)新獎項，并逐步成長為全球知名的變壓器繞組光纖溫控系統(tǒng)品牌商之一。

目前，和其光電系列光纖測溫產(chǎn)品應(yīng)用已遍布國內(nèi)32個省市和歐美、東南亞、非洲等四十多個國家和地區(qū)，廣泛應(yīng)用于電力系統(tǒng)、軌道交通、鋼鐵冶金、煤炭開采、石油化工、微波醫(yī)療、食品安全和科學(xué)研究等領(lǐng)域。

“和其光電專家們數(shù)十年的技術(shù)積累和企業(yè)持續(xù)多年以市場為導(dǎo)向開展的科技創(chuàng)新，是本次能夠迅速在半導(dǎo)體紅外測溫領(lǐng)域取得突破的重要原因。”方笑塵說：“作為一家國家級專精特新小巨人企業(yè)，我們將繼續(xù)堅持以創(chuàng)新為根本，為國家科技自立自強貢獻更多力量。”

（中國日報陜西記者站）