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安建科技首發(fā)基于七層光罩工藝的12英寸第七代IGBT

日期:2023-09-22 閱讀:597
核心提示:依托于光刻機的光罩(Litho)工藝是半導體芯片加工流程中的核心工藝,光罩的層數(shù)是影響半導體芯片工藝復雜度及加工成本的關鍵指

 依托于光刻機的光罩(Litho)工藝是半導體芯片加工流程中的核心工藝,光罩的層數(shù)是影響半導體芯片工藝復雜度及加工成本的關鍵指標。當代溝槽-場截止型IGBT一般采用9-10層光罩進行加工。

安建早于2019年即在國內(nèi)頂尖8-inch晶圓廠成功開發(fā)并量產(chǎn)了僅采用7層光罩工藝的第七代溝槽-場截止IGBT技術,是國內(nèi)第一家量產(chǎn)第七代IGBT的國產(chǎn)廠家,并完全擁有相關自主知識產(chǎn)權。

近期,安建將自有專利的第7層光罩工藝流程成功轉移至國內(nèi)頂級12-inch IGBT加工平臺,也是國內(nèi)首家推出基于7層光罩工藝的12-inch第七代IGBT的國產(chǎn)廠家。此項技術突破表征了安建在國內(nèi)IGBT芯片及加工工藝設計方面的雙重技術領先優(yōu)勢。

下圖為安建采用7層光罩工藝的第七代12-inch 1200V-25A IGBT晶圓。

光罩層數(shù)的減少并未對器件性能、堅固性及可靠性造成任何影響。下圖為采用上述晶圓封裝的第七代1200V-25A PIM模塊,型號為JG1A25P120DG2(pin-to-pin兼容國外進口的第七代EasyPIM-1B模塊)。相應的模塊產(chǎn)品已通過工業(yè)變頻及伺服驅動等客戶測試認證。

相應模塊在某知名客戶4kW高頻電機變頻器(載頻16kHz)完全通過各類極限工況測試,測試結果如下:

驅動波形:

相間短路波形:

1s急減速測試波形:

安建科技有限公司是一家專門從事功率半導體元器件產(chǎn)品設計、研發(fā)及銷售的高科技公司, 擁有由香港科技大學教授、大中華區(qū)唯一一位從事硅基功率半導體研究的美國電子電氣工程師學會院士(IEEE Fellow)所領銜的業(yè)內(nèi)頂尖技術團隊。公司現(xiàn)有低電壓的SGT-MOSFET(分裂柵金屬氧化物場效應晶體管)、高電壓的SJ-MOSFET(超結金屬氧化物場效應晶體管)、Field Stop Trench IGBT(絕緣柵雙極晶體管)三條成熟的產(chǎn)品線,且研發(fā)的功率芯片得到了國內(nèi)多家應用客戶的認可,目前已經(jīng)在眾多領域穩(wěn)定運行。

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