“本次采用雙伺服電機提升裝備爐門，突破傳統(tǒng)立式真空裝備‘單伺服電機+軟軸’驅(qū)動連接方式，將成卷的石墨軟氈卷料展開快速純化，大大提高純化效果。”電科裝備山西中電科公司技術(shù)專家表示，這意味著自主研制的國內(nèi)首臺套石墨軟氈連續(xù)式高溫純化裝備誕生了。

近4年來，山西中電科公司圍繞第三代半導(dǎo)體用高純碳基材料、鋰電碳納米管材料等方面，持續(xù)開展關(guān)鍵裝備研發(fā)制造及工藝技術(shù)攻關(guān)，高溫純化裝備市場占有率超過50%，成功入選第五批國家級“專精特新”小巨人企業(yè)。

深耕核心技術(shù)，練就“獨門秘訣”

隨著硅基半導(dǎo)體和第三代半導(dǎo)體的快速發(fā)展，市場對高純石墨相關(guān)材料需求大幅增加。太陽能、半導(dǎo)體、人工晶體、光纖、高端真空燒結(jié)爐、熱處理爐、高頻感應(yīng)爐等領(lǐng)域，對石墨軟氈提出更高要求。不僅是數(shù)量的增加，更是質(zhì)量的提高。

“現(xiàn)有石墨軟氈純化裝備生產(chǎn)效率低，純度低、熱輻射造成大量能源損耗等現(xiàn)象一直是行業(yè)技術(shù)難題，純化效率和純化質(zhì)量是石墨軟氈純化裝備最核心的技術(shù)指標(biāo)。”技術(shù)專家表示。科研團隊反復(fù)鉆研攻關(guān)，最終研制出國內(nèi)首臺套石墨軟氈連續(xù)式高溫純化裝備，使石墨軟氈達到純化指標(biāo)的要求，打通“堵點”，保證了純化效率和純化質(zhì)量。

該裝備的投產(chǎn)，助推國內(nèi)高溫純化裝備與工藝進一步飛躍，有效解決石墨軟氈高溫純化裝備領(lǐng)域關(guān)鍵核心問題，具有廣闊的市場前景。

立足行業(yè)所趨，推出純化裝備譜系產(chǎn)品

為適應(yīng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，山西中電科公司持續(xù)開展技術(shù)攻關(guān)，推出純化裝備譜系產(chǎn)品，立式高溫純化裝備、臥式高溫純化裝備、立式石墨化裝備、臥式石墨化裝備、高效沉積裝備等，產(chǎn)品技術(shù)及質(zhì)量均達到領(lǐng)先水平，已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能等多個行業(yè)。

技術(shù)領(lǐng)先、產(chǎn)品過硬，為山西中電科公司“敲”開廣闊市場。作為山西省第三代半導(dǎo)體重點產(chǎn)業(yè)鏈鏈核企業(yè)，公司深度支撐“國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（山西）”建設(shè)，逐步實現(xiàn)單體裝備向連續(xù)式、高效高溫純化工藝裝備迭代發(fā)展，研發(fā)低硼、低鋁的新型純化裝備，與當(dāng)前高溫純化技術(shù)疊加，更好的滿足第三代半導(dǎo)體高純石墨材料的使用需求。

面向未來，山西中電科公司將依托碳基材料制備技術(shù)持續(xù)深耕，著力提升石墨材料的高溫純化工藝水平，加速推出更多新型高溫純化系列裝備，不斷壯大產(chǎn)品譜系，為推動我國高溫純化裝備自立自強貢獻積極力量。