9月26日，瑤光半導(dǎo)體自研的首批SiC激光退火設(shè)備ES500-2量產(chǎn)下線，并舉行了交付儀式。

本次交付本次交付不僅驗(yàn)證了瑤光半導(dǎo)體高效落實(shí)客戶承諾，也標(biāo)志著瑤光半導(dǎo)體在半導(dǎo)體制程設(shè)備領(lǐng)域已經(jīng)具備產(chǎn)業(yè)化、規(guī)模化的能力。

首批國(guó)產(chǎn)化激光退火設(shè)備下線  正向研發(fā)技術(shù)領(lǐng)先

SiC激光退火設(shè)備ES500-2采用正向研發(fā)的思路，自研集成系統(tǒng)和光路設(shè)計(jì)，

創(chuàng)新性使用六西格瑪穩(wěn)健性開(kāi)發(fā)、可靠性設(shè)計(jì)，結(jié)合自研生產(chǎn)核心零部件，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期、安全、穩(wěn)定、可靠運(yùn)行，滿足客戶的使用要求。

與傳統(tǒng)激光退火和市面上同類型的機(jī)器性比，瑤光半導(dǎo)體此次下線交付的激光退火設(shè)備在性能上更高效、更安全、更靈活和更智能。

SiC激光退火設(shè)備ES500-2產(chǎn)品亮點(diǎn)

1、極致能效

具有更低的延時(shí)，能夠快速加熱材料表面，從而顯著提高了生產(chǎn)效率：可實(shí)現(xiàn)快速的6inch晶圓退火，僅需300秒，而市面同類型產(chǎn)品需要600s。

2、安全可靠

經(jīng)過(guò)可靠性開(kāi)發(fā)和模塊化設(shè)計(jì)，降低了潛在的安全風(fēng)險(xiǎn)，提高了設(shè)備的可靠性。

3、行業(yè)領(lǐng)先

支持逐步退火和局部退火模式，提供更高的加工靈活性和控制精度，適應(yīng)性更強(qiáng)。而傳統(tǒng)或同類型的激光退火設(shè)備難以實(shí)現(xiàn)逐步或局部退火，因此在特殊應(yīng)用中的應(yīng)用領(lǐng)域受限。

4、智能制造

配備智能晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，可進(jìn)行激光能量補(bǔ)償和晶圓厚度檢測(cè)，從而支持全自動(dòng)生產(chǎn)，提高了生產(chǎn)效率。

瑤光半導(dǎo)體：可靠性是量產(chǎn)的保證  實(shí)現(xiàn)真正國(guó)產(chǎn)化

中國(guó)是世界上最大的半導(dǎo)體消費(fèi)國(guó)，也是最大的半導(dǎo)體進(jìn)口國(guó)。每年進(jìn)口的半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值超過(guò)300億美元，占全球市場(chǎng)的近一半。提升半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率迫在眉睫。

瑤光半導(dǎo)體激光退火設(shè)備領(lǐng)先的加工精度，良品率，提高了加工效率，大幅降低了制造成本。這進(jìn)一步表明，瑤光半導(dǎo)體自研的激光退火設(shè)備不僅是進(jìn)口代替，更實(shí)現(xiàn)優(yōu)于國(guó)外同類產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)，具有行業(yè)領(lǐng)先性。

作為一家專注于第三代寬禁帶半導(dǎo)體先進(jìn)制程設(shè)備的企業(yè)，瑤光半導(dǎo)體正持續(xù)加大研發(fā)投入，著力提高國(guó)產(chǎn)設(shè)備的質(zhì)量和性能，降低成本和依賴度，為國(guó)內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)提供更強(qiáng)的支撐和保障，賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。