國林科技(300786.SZ)作為國內(nèi)大型臭氧系統(tǒng)設(shè)備龍頭，掌握臭氧系統(tǒng)設(shè)備的全套核心技術(shù)，產(chǎn)品涵蓋全系列臭氧發(fā)生器及其系統(tǒng)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于市政給水、工業(yè)廢水、煙氣脫硝、市政污水、空間消毒等。

據(jù)年報信息，近年來國林科技圍繞臭氧工藝積極進行下游多元化延伸，致力于打造臭氧領(lǐng)域綜合解決方案供應(yīng)商。醫(yī)療健康領(lǐng)域，子公司國林健康成功研發(fā)電解水式臭氧發(fā)生器，部分健康品類產(chǎn)品的市場推廣正順利推進;半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司系列產(chǎn)品已在多家下游頭部客戶中順利驗證;同時乙醛酸業(yè)務(wù)即將進入正式生產(chǎn)階段，市場拓展也正順利進行，未來下游多點開花有望打開成長空間。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，國林科技持續(xù)研發(fā)近5年，已成功生產(chǎn)出高濃度臭氧水發(fā)生器和高濃度臭氧氣體發(fā)生器兩種產(chǎn)品，分別應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗和薄膜沉積環(huán)節(jié)。公開資料顯示，當(dāng)前我國半導(dǎo)體臭氧設(shè)備市場主要被美國MKS及德國安索羅斯等海外廠商占據(jù)，國內(nèi)尚無量產(chǎn)企業(yè)。據(jù)公開披露，國林科技生產(chǎn)的半導(dǎo)體臭氧水發(fā)生器的臭氧水濃度可達80-150PPm，臭氧氣體發(fā)生器出氣濃度可達200-300mg/L，能夠滿足半導(dǎo)體工藝需求，同時已取得相應(yīng)專利，產(chǎn)品性能已基本對標海外廠商。

根據(jù)公司公開交流，國林科技半導(dǎo)體專用臭氧設(shè)備已于2022年下半年送樣下游半導(dǎo)體清洗設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備頭部企業(yè)及部分面板廠等，當(dāng)前產(chǎn)品正順利驗證中，預(yù)計將于2024年實現(xiàn)小批量供貨，半導(dǎo)體級臭氧設(shè)備國產(chǎn)替代進程可期。

（來源：中國經(jīng)濟新聞網(wǎng)）