前不久，《廣州日?qǐng)?bào)》發(fā)表系列報(bào)道——《躍上新高度 廣州進(jìn)行時(shí)①：國(guó)產(chǎn)碳化硅“芯航母”崛起》，深入位于廣州南沙的芯片制造企業(yè)——芯粵能，揭秘其作為全球領(lǐng)先車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅功率半導(dǎo)體制造企業(yè)的發(fā)展秘密。

芯粵能碳化硅芯片制造項(xiàng)目是廣東“強(qiáng)芯工程”重大項(xiàng)目，項(xiàng)目總投資額為75億元，將建成年產(chǎn)24萬(wàn)片6英寸和24萬(wàn)片8英寸碳化硅晶圓芯片的生產(chǎn)能力。

在6英寸車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅晶圓制造無(wú)塵車(chē)間內(nèi)，設(shè)備上綠色、黃色燈光閃爍，工作人員看一眼就知道設(shè)備處于生產(chǎn)還是閑置狀態(tài)；

幾名設(shè)備工程師正在調(diào)試新裝設(shè)備，沖刺擴(kuò)產(chǎn)；

“天車(chē)”沿著無(wú)塵車(chē)間屋頂?shù)能壍缿掖褂诳罩型荡┧?，調(diào)試與機(jī)器人“搭檔”搬運(yùn)芯片，將實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)到機(jī)臺(tái)的全自動(dòng)無(wú)人化搬運(yùn)；

無(wú)塵車(chē)間外的辦公室內(nèi)，工程師坐在電腦前通過(guò)設(shè)備共享屏幕遠(yuǎn)程監(jiān)控設(shè)備狀況，“千里眼”明察秋毫，指尖輕點(diǎn)鍵盤(pán)即可隨時(shí)遠(yuǎn)程處理各種狀況……

新年伊始，

位于廣州南沙的

國(guó)內(nèi)最大

專(zhuān)注于車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅芯片

制造企業(yè)芯粵能廠(chǎng)內(nèi)

一派熱火朝天的生產(chǎn)景象。

作為廣東“強(qiáng)芯工程”重大項(xiàng)目，芯粵能今年正加速一期產(chǎn)能爬坡，年底實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)24萬(wàn)片6英寸車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅芯片的規(guī)劃產(chǎn)能。

芯粵能項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將極大緩解當(dāng)前國(guó)產(chǎn)車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅芯片緊缺的現(xiàn)狀，成為全球領(lǐng)先的車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅功率半導(dǎo)體制造企業(yè)之一，解決碳化硅芯片“卡脖子”問(wèn)題，奠定中國(guó)碳化硅功率器件領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。

探秘?zé)o塵車(chē)間

高速氣流

讓工作人員“一塵不染”

近日，來(lái)到

芯粵能無(wú)塵車(chē)間，

跟隨芯粵能晶圓廠(chǎng)

廠(chǎng)長(zhǎng)邵永華“探秘”。

車(chē)間內(nèi)24小時(shí)維持無(wú)塵狀態(tài)，恒溫恒濕，四季如春，“寸土寸金”。進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間的人員“武裝”到牙齒，潔凈服、頭套、手套齊備，全身只有眼睛露在外面，再經(jīng)過(guò)長(zhǎng)長(zhǎng)的通道才能進(jìn)入車(chē)間。邵永華指著通道頂部說(shuō)：“通道上空不斷向下吹淋高速氣流，工作人員經(jīng)過(guò)時(shí)，身上微小的塵埃粒子會(huì)被吹走，確保進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間時(shí)符合生產(chǎn)的潔凈度要求。”

車(chē)間內(nèi)，最引人矚目的是

矗立在地面的

一排排設(shè)備

和屋頂穿梭運(yùn)行的

一輛輛“天車(chē)”。

“‘天車(chē)’系統(tǒng)是我們自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)的一部分。我們是國(guó)內(nèi)首家采用該系統(tǒng)的6英寸碳化硅晶圓廠(chǎng)。調(diào)試成功后，‘天車(chē)’將與機(jī)臺(tái)機(jī)器人配合，實(shí)現(xiàn)車(chē)間內(nèi)材料的全自動(dòng)無(wú)人化搬運(yùn)，既提高效率，又降低差錯(cuò)。”邵永華說(shuō)：“高端制造智能化是趨勢(shì)，工程師不需要一直待在車(chē)間，在辦公室就可以通過(guò)設(shè)備共享屏幕實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備狀況，并發(fā)出指令遠(yuǎn)程操控設(shè)備。”

在車(chē)間內(nèi)可以看到，設(shè)備上有紅色、黃色、綠色的不同燈光閃爍。“這是自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，綠燈代表正常生產(chǎn)，黃色代表休整閑置，紅色代表異?？赡埽枰ぷ魅藛T來(lái)看一下。”據(jù)邵永華介紹，在整個(gè)車(chē)間內(nèi)，全自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)無(wú)處不在，尤其是針對(duì)產(chǎn)能性能的檢測(cè)，跟隨著產(chǎn)品的每一個(gè)環(huán)節(jié)，循環(huán)多次檢測(cè)，確保產(chǎn)品性能和良率：“目前我們出廠(chǎng)的芯片性能、良率達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，國(guó)際主流碳化硅公司研發(fā)的產(chǎn)品均可以在我們的平臺(tái)量產(chǎn)。”

在無(wú)塵車(chē)間內(nèi)，工作人員穿著藍(lán)色、白色、灰色等不同顏色的潔凈服，灰色服裝的設(shè)備調(diào)試工程師，正在對(duì)多臺(tái)新引進(jìn)的設(shè)備進(jìn)行調(diào)試。

“整個(gè)工廠(chǎng)正在擴(kuò)產(chǎn)爬坡，今年年底實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)24萬(wàn)片6英寸車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅芯片的規(guī)劃產(chǎn)能。預(yù)留的8英寸產(chǎn)線(xiàn)就在6英寸產(chǎn)線(xiàn)隔壁，建成后將具備年產(chǎn)24萬(wàn)片8英寸車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅芯片的能力。”邵永華介紹。

打造“芯航母”

助力廣東建成

集成電路第三極

在廣州市、南沙區(qū)

大力支持下，

芯粵能15個(gè)月

即建成投產(chǎn)，

建設(shè)速度在業(yè)內(nèi)罕見(jiàn)。

無(wú)塵車(chē)間2022年11月正式啟用，目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)1萬(wàn)片產(chǎn)能。車(chē)規(guī)級(jí)和工控級(jí)芯片成功流片并送樣，車(chē)規(guī)認(rèn)證完成在即。截至目前，芯粵能已與40多家客戶(hù)簽約流片，覆蓋全國(guó)絕大部分碳化硅芯片設(shè)計(jì)企業(yè)，良率和一致性備受認(rèn)可。

近年來(lái)，南沙引進(jìn)培育了芯粵能、芯聚能、晶科電子、聯(lián)晶智能、南砂晶圓等一批行業(yè)龍頭企業(yè)，初步形成覆蓋半導(dǎo)體和集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、設(shè)備材料的產(chǎn)業(yè)鏈。南沙積極建設(shè)寬禁帶半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、制造和封測(cè)基地，打造粵港澳大灣區(qū)寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，為未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入強(qiáng)“芯”劑。

作為扎根南沙的企業(yè)，芯粵能董事長(zhǎng)肖國(guó)偉認(rèn)為，南沙地處粵港澳大灣區(qū)地理幾何中心、毗鄰港澳，區(qū)位優(yōu)勢(shì)明顯，產(chǎn)業(yè)集聚方面有巨大的應(yīng)用市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)。

“廣深已有多家芯片設(shè)計(jì)公司落地集聚，隨著碳化硅應(yīng)用市場(chǎng)不斷拓展延伸，未來(lái)會(huì)有更多碳化硅芯片設(shè)計(jì)和應(yīng)用開(kāi)發(fā)公司前來(lái)落地扎根，產(chǎn)業(yè)集聚效應(yīng)日益突顯。”

尤其是《南沙方案》發(fā)布以來(lái)，面向高科技企業(yè)形成可執(zhí)行可落地的政策，南沙區(qū)也出臺(tái)了多項(xiàng)科技專(zhuān)項(xiàng)扶持政策，鼓勵(lì)以企業(yè)為主體推動(dòng)關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，推動(dòng)企業(yè)與科研機(jī)構(gòu)聯(lián)合科技創(chuàng)新，更給企業(yè)發(fā)展提供了源源不斷的強(qiáng)大動(dòng)能，吸引了越來(lái)越多企業(yè)聚集南沙。

展望2024年，芯粵能將啟動(dòng)一期產(chǎn)能爬坡，年底實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)24萬(wàn)片6英寸碳化硅芯片的規(guī)劃產(chǎn)能。芯粵能項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將極大緩解當(dāng)前國(guó)產(chǎn)車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅芯片緊缺的現(xiàn)狀，成為全球領(lǐng)先的車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅功率半導(dǎo)體制造企業(yè)之一。

一個(gè)碳化硅航母級(jí)企業(yè)

將崛起在灣區(qū)之心。

芯粵能

志在賦能全球電力應(yīng)用，

成為碳化硅領(lǐng)域值得信賴(lài)的

“芯航母”。

隨著項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)，將帶動(dòng)碳化硅襯底材料、芯片制造、模塊封裝到新能源汽車(chē)應(yīng)用的國(guó)產(chǎn)化產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)，推動(dòng)建設(shè)大灣區(qū)寬禁帶半導(dǎo)體和新能源汽車(chē)的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，助力廣東建成集成電路第三極，奠定中國(guó)碳化硅功率器件領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。

來(lái)源：南沙區(qū)融媒體中心、廣州日?qǐng)?bào)