據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告,華為技術(shù)有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“半導(dǎo)體器件及其制備方法“,公開(kāi)號(hào)CN117747642A,申請(qǐng)日期為2022年9月。
專(zhuān)利摘要顯示,本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N半導(dǎo)體器件及其制備方法,實(shí)現(xiàn)了第一電極層與外延層的歐姆接觸,減小了歐姆接觸的接觸電阻率,有助于減小半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通電阻,進(jìn)而降低半導(dǎo)體器件的功率損耗。半導(dǎo)體器件可以包括外延層、摻雜層、介質(zhì)層和第一電極層。其中,外延層和介質(zhì)層層疊設(shè)置。半導(dǎo)體器件設(shè)有第一凹槽,摻雜層和第一電極層的一部分可以層疊設(shè)置于第一凹槽內(nèi)部。