中微公司官微消息，近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）的電容耦合等離子體（CCP）刻蝕設(shè)備第3000臺反應(yīng)腔順利付運國內(nèi)一家先進(jìn)的半導(dǎo)體芯片制造商。這一重要里程碑標(biāo)志著中微公司刻蝕設(shè)備的優(yōu)異性能、機臺穩(wěn)定性和高效的量產(chǎn)能力已得到客戶與市場的廣泛認(rèn)可。 

自首臺CCP刻蝕設(shè)備發(fā)布以來，中微公司不斷拓展CCP刻蝕設(shè)備產(chǎn)品線，以滿足先進(jìn)的芯片器件制造日益嚴(yán)苛的技術(shù)需求。CCP刻蝕設(shè)備系列包括單反應(yīng)臺刻蝕設(shè)備Primo SSC AD-RIE®、Primo HD-RIE®，雙反應(yīng)臺刻蝕設(shè)備Primo D-RIE®、Primo AD-RIE®和刻蝕及除膠一體化的 Primo iDEA®。這些產(chǎn)品為客戶提供了全面綜合的解決方案，用于65納米至5納米及以下工藝的多種應(yīng)用。中微公司的刻蝕設(shè)備產(chǎn)品線還包括其他多款電感耦合低能等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備和硅通孔（TSV）刻蝕設(shè)備。目前，中微公司累計已有超過700臺ICP和TSV設(shè)備在國內(nèi)外生產(chǎn)線實現(xiàn)量產(chǎn)。   

憑借獨特的技術(shù)創(chuàng)新和差異化設(shè)計，中微公司刻蝕設(shè)備不斷擴大市場占有率，在國內(nèi)外半導(dǎo)體前道設(shè)備行業(yè)占據(jù)優(yōu)勢地位。2023年，中微公司營業(yè)收入約62.64億元，較2022年增加約15.24億元，同比增長約32.15%。其中，2023年刻蝕設(shè)備銷售約47.03億元，同比增長約49.43%。此前，占公司營業(yè)收入約75.1%的刻蝕設(shè)備在2021年和2022 年分別增長了55.4%和57.1%。公司2023年新增訂單總金額約83.6億元，較2022年的63.2億元增加約20.4億元，同比增長約32.3%，其中刻蝕設(shè)備新增訂單達(dá)到69.5 億元，同比增長約60.1%。此外，中微公司綜合競爭優(yōu)勢不斷增強，各項營運指標(biāo)已達(dá)到國際先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)水平。在過去的十年中，公司的營業(yè)收入一直以高于35%的年平均增長速度持續(xù)增長。 

中微公司董事、集團(tuán)副總裁、刻蝕和外延產(chǎn)品部總經(jīng)理叢海談及這一付運里程碑時表示，中微公司緊跟先進(jìn)制程工藝發(fā)展的最前沿，在產(chǎn)品開發(fā)、設(shè)計和制造過程中，始終強調(diào)創(chuàng)新和差異化，也正是中微公司的領(lǐng)先技術(shù)及專業(yè)服務(wù)使我們的設(shè)備產(chǎn)品贏得了客戶的青睞。未來，我們也將持續(xù)貫徹中微公司“四個十大”的企業(yè)文化，深化實踐“產(chǎn)品開發(fā)的十大原則”，不斷為客戶和市場提供性能卓越 、高效節(jié)能的高端設(shè)備產(chǎn)品。