近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，股票代碼：688012）推出自主研發(fā)的12英寸高深寬比金屬鎢沉積設(shè)備Preforma Uniflex® HW以及12英寸原子層金屬鎢沉積設(shè)備Preforma Uniflex® AW。這是繼Preforma Uniflex® CW之后，中微公司為各類器件芯片中超高深寬比及復(fù)雜結(jié)構(gòu)金屬鎢填充提供的高性價(jià)比、高性能的解決方案。中微公司深耕高端微觀加工設(shè)備領(lǐng)域多年，持續(xù)加碼創(chuàng)新研發(fā)，此次多款新產(chǎn)品的推出是公司在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域的新突破，也為公司業(yè)務(wù)多元化發(fā)展提供了強(qiáng)勁的增長動(dòng)能。
中微公司自主研發(fā)的具備超高深寬比填充能力的12英寸Preforma Uniflex® HW設(shè)備，繼承了前代Preforma Uniflex® CW設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)，可靈活配置多達(dá)五個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)的反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔皆能同時(shí)加工兩片晶圓，在保證較低生產(chǎn)成本的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)較高的生產(chǎn)效率。Preforma Uniflex® HW采用擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的生長梯度抑制工藝, 可實(shí)現(xiàn)表面從鈍化主導(dǎo)到刻蝕主導(dǎo)的精準(zhǔn)工藝調(diào)控。硬件上，中微公司開發(fā)的可實(shí)現(xiàn)鈍化時(shí)間從毫秒級(jí)到千秒級(jí)的控制系統(tǒng)，可滿足多種復(fù)雜結(jié)構(gòu)的填充。此外，搭配經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的流場熱場系統(tǒng)，使該設(shè)備具備優(yōu)異的薄膜均一性和工藝調(diào)節(jié)靈活性。
中微公司12英寸高深寬比金屬鎢設(shè)備Preforma Uniflex® HW
此次中微公司還推出了自主研發(fā)的具備三維填充能力的12英寸原子層金屬鎢沉積設(shè)備——Preforma Uniflex® AW。該設(shè)備繼承了鎢系列產(chǎn)品的特點(diǎn)，可配置五個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)腔，有效提高設(shè)備生產(chǎn)效率。此外，系統(tǒng)中每個(gè)反應(yīng)腔均可用于形核和主體膜層生長，可根據(jù)客戶實(shí)際工藝需求優(yōu)化配置，進(jìn)一步提高生產(chǎn)中的設(shè)備利用率。Preforma Uniflex® AW采用擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高速氣體切換控制系統(tǒng), 可精準(zhǔn)控制工藝過程，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的原子級(jí)別生長，因此，所生長的膜層具備優(yōu)異的臺(tái)階覆蓋率和低雜質(zhì)濃度的優(yōu)點(diǎn)。Preforma Uniflex® AW 還引入獨(dú)特的氣體輸送系統(tǒng)，進(jìn)一步提升性能，使該設(shè)備具備更先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的延展能力。該設(shè)備也繼承了中微公司自主開發(fā)的流場熱場優(yōu)化設(shè)計(jì)，從而提升薄膜均一性和工藝調(diào)節(jié)靈活性。
中微公司12英寸原子層金屬鎢沉積設(shè)備Preforma Uniflex® AW
中微公司董事、集團(tuán)副總裁、CVD產(chǎn)品部及公共工程部總經(jīng)理陶珩表示：“我們很高興可以為全球領(lǐng)先的邏輯和存儲(chǔ)芯片制造商提供行業(yè)領(lǐng)先的薄膜設(shè)備，這兩款設(shè)備優(yōu)異的臺(tái)階覆蓋率和低電阻特性，使其可以滿足多種復(fù)雜和三維結(jié)構(gòu)的金屬鎢填充需求。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，原子層沉積技術(shù)因其卓越的三維覆蓋能力和精確的薄膜厚度控制而日益受到重視，預(yù)計(jì)未來將會(huì)有更廣泛的應(yīng)用需求。中微公司推出的這兩款新設(shè)備，進(jìn)一步擴(kuò)充了中微公司薄膜設(shè)備產(chǎn)品線，不僅展示了我們在原子層沉積領(lǐng)域的先進(jìn)技術(shù)水平，也證明了我們擁有強(qiáng)大的產(chǎn)品開發(fā)和應(yīng)用開發(fā)能力，標(biāo)志著我們在半導(dǎo)體領(lǐng)域中擴(kuò)展了全新的工藝應(yīng)用，這將為我們公司的持續(xù)增長和長期發(fā)展提供廣闊的空間。”
（來源：中微公司）
