2024年6月11日,芯??萍际着_Aviator 12寸先進封裝臨時鍵合(TB)設(shè)備正式交付客戶端。該設(shè)備為蘇州芯??萍甲灾餮邪l(fā),完全擺脫進口,主要性能指標媲美國外同類產(chǎn)品,為國產(chǎn)替代再添新軍。后續(xù)蘇州芯睿科技會進入更加緊張的設(shè)備調(diào)試階段和生產(chǎn)準備階段,將全力推進項目按時間節(jié)點達成產(chǎn)能目標。
Aviator系列臨時鍵合設(shè)備 ABT-12寸
規(guī)格參數(shù):
晶圓尺寸: 300mm(12")
鍵合壓力 :≤ 60kN
鍵合溫度 :≤ 350°C
腔體真空:10-2mbar
鍵合偏移 :≤ 0.1mm
產(chǎn)品簡介:
ABT-12是全自動臨時鍵合設(shè)備,設(shè)備內(nèi)配置勻膠及晶圓傳送系統(tǒng),主要應用于先進封裝,如WLCSP,FOWLP,2.5D,3D等。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
可提供先進封裝全面性鍵合及解鍵合方案,客戶一站式服務(wù),且價格對比同等級國外設(shè)備有很大優(yōu)勢。