6月19日，上海啟元氣體與肥東縣政府正式簽署半導(dǎo)體先進(jìn)制程電子特氣國產(chǎn)化項目投資合作協(xié)議。啟元氣體董事長俞俊、肥東縣委書記姚飛共同見證簽約，啟元氣體首席運營官楊建、肥東縣委常委、副縣長吳剛共同簽署協(xié)議。 

上海啟元氣體將依托韓系技術(shù)資源及支持，計劃在位于合肥市肥東縣的合肥循環(huán)經(jīng)濟(jì)示范園內(nèi)建設(shè)國內(nèi)高標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體先進(jìn)制程電子特氣生產(chǎn)基地。項目占地面積約70畝，建成達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計實現(xiàn)年營收不低于10億元，年稅收不低于6000萬元。該項目的落地，將加快推動國際半導(dǎo)體先進(jìn)制程電子特氣材料國產(chǎn)化進(jìn)程，部分產(chǎn)品填補國內(nèi)空白，將極大增強(qiáng)國內(nèi)半導(dǎo)體先進(jìn)制程所需電子特氣的本土供應(yīng)能力。

上海啟元氣體發(fā)展有限公司成立于2009年8月，主要從事電子特氣、電子氣體設(shè)備制造及大宗氣體供氣的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售業(yè)務(wù)。曾打造國內(nèi)首臺套氪氙和氖氦稀有氣體精煉設(shè)備，并榮獲上海市科技進(jìn)步三等獎。公司主要高純電子特氣產(chǎn)品已服務(wù)于全球一流半導(dǎo)體企業(yè)，是國內(nèi)較早通過韓國三星、SK海力士認(rèn)證的企業(yè)。上海啟元氣體于2021年獲得韓國TEMC戰(zhàn)略投資，TEMC是韓國著名的電子材料上市公司，是三星、SK海力士的核心電子特氣供應(yīng)商。 

電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，電子半導(dǎo)體器件的性能優(yōu)劣與電子氣體的純度和質(zhì)量息息相關(guān)。該生產(chǎn)基地建成后，將承擔(dān)半導(dǎo)體先進(jìn)制程所需電子特氣材料的研發(fā)、生產(chǎn)、分析及倉儲中心等功能，滿足國內(nèi)本土終端在先進(jìn)制程工藝升級中對新材料的需求，實現(xiàn)半導(dǎo)體材料供應(yīng)鏈自主可控的目標(biāo)。

近年來，合肥市圍繞“合肥芯”“合肥產(chǎn)”“合肥用”全鏈條，加快推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，傾力打造“中國IC之都”，構(gòu)建了設(shè)計、制造、封裝測試、核心工具、裝備材料及終端應(yīng)用較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈，本項目的落地，將在先進(jìn)制程電子特氣材料關(guān)鍵環(huán)節(jié)實現(xiàn)補鏈強(qiáng)鏈，在提升產(chǎn)業(yè)鏈穩(wěn)定性和競爭力方面具有重大意義。