7月9日,晶合集成與上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(以下簡稱上海精測)舉行EPROFILE 300FD量測機臺采購意向簽約儀式。歷經(jīng)短短一年的測試、驗證,及成功導(dǎo)入生產(chǎn),EPROFILE 300FD量測機臺各方面性能已達到國際水準(zhǔn)。晶合集成計劃在晶合三期及后續(xù)新增產(chǎn)能中大量引進20臺,將有效降低設(shè)備采購及維保成本。
晶合集成一直不遺余力推進本土化發(fā)展,目前在原材料領(lǐng)域已實現(xiàn)90%由國內(nèi)廠商供應(yīng)。在設(shè)備領(lǐng)域,晶合集成已大量引入北方華創(chuàng)、中微、拓荊、華海清科、至純、盛美、屹唐、合肥御微、中科飛測、天芯微、邑文等國內(nèi)設(shè)備廠商。未來,晶合集成還將與上海精測在掃描電子顯微鏡、明場缺陷檢測機、WAT測試機、良率測試機等領(lǐng)域進行合作,以期不斷提升設(shè)備國產(chǎn)化比例,持續(xù)優(yōu)化運營成本,構(gòu)建安全穩(wěn)定供應(yīng)鏈生態(tài)體系。