天眼查知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息顯示，河北同光半導(dǎo)體股份有限公司取得一項(xiàng)名為“超高真空碳化硅原料合成爐系統(tǒng)“，授權(quán)公告號(hào)CN112516916B，申請(qǐng)日期為2020年12月。

專(zhuān)利摘要顯示，本發(fā)明公開(kāi)一種超高真空碳化硅原料合成爐系統(tǒng)，涉及碳化硅合成技術(shù)領(lǐng)域，由其制備的高純碳化硅粉體原料能夠廣泛用于半導(dǎo)體碳化硅單晶體的生長(zhǎng)及高純碳化硅陶瓷樣品的制備。本發(fā)明所述的超高真空碳化硅原料合成爐系統(tǒng)中，爐室為圓筒形立式雙層水冷結(jié)構(gòu)，爐室上安裝爐蓋，爐蓋為雙層水冷結(jié)構(gòu)，紅外測(cè)溫組件位于爐蓋頂端，爐蓋可由電動(dòng)升降機(jī)實(shí)現(xiàn)升降并旋開(kāi)；爐室通過(guò)閘板閥、泵抽彎管與分子泵連接，組成系統(tǒng)主抽管路，爐室通過(guò)角閥、波紋管與機(jī)械泵相連，組成系統(tǒng)旁抽管路；樣品支撐機(jī)構(gòu)與爐室底盤(pán)固定，感應(yīng)加熱組件、測(cè)量組件分別與爐室側(cè)面法蘭固定。