近日，南京埃米儀器科技有限公司宣布完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，由博將資本領投。此次融資將主要用于提升公司在先進半導體制程用高精密量測設備的國產替代能力，豐富產品種類，并加大市場開拓力度。

埃米儀器成立于2022年，專注于國內精密3D量測設備的國產化和核心技術的攻克。公司的產品主要應用于芯片制程中的微結構量測和缺陷檢測，旨在解決相關領域的技術難題。目前，埃米儀器的產品和技術已獲得國內領先芯片制造企業(yè)的認可，對推動國內先進工藝的發(fā)展、提高芯片制造良率、縮短制程研發(fā)周期具有重要意義。公司創(chuàng)始人楊見飛博士擁有多年先進量測和封裝設備研發(fā)經(jīng)驗，領導著一支強大的研發(fā)團隊，與南京大學、山東大學、南智光電研究院等國內外科研院所、機構建立了密切合作關系。

量測設備在半導體設備市場中占有重要地位，規(guī)模約占市場份額的15%。量測設備能夠在生產中監(jiān)測、識別、定位、分析工藝缺陷，對晶圓廠及時發(fā)現(xiàn)問題、改善工藝、提高良率起到至關重要的作用。隨著集成電路繼續(xù)多層化、復雜化，量測設備的重要性日益凸顯。然而，中國半導體量檢測設備市場被國際廠商高度壟斷，是半導體設備中除光刻機外國產化率最低的領域。

原子力顯微鏡（AFM）是目前精度最高的量測設備之一，也是目前唯一能集檢測和修復為一體的技術手段。AFM通過一個微小的針尖與樣品表面相互作用，以實現(xiàn)高分辨率的表面成像。埃米儀器已推出多款量測設備，并持續(xù)推出新型設備。其在線工業(yè)級原子力顯微鏡已完成某芯片頭部企業(yè)的產品正式交付。技術方面，埃米儀器通過申請專利構筑技術壁壘，目前公司已得到專利授權20余項，相關專利覆蓋原子力顯微鏡和光學量測設備，涉及光電器件、精密機械、定位系統(tǒng)、電氣設計等。博將資本該項目負責人陸元昊表示，量測設備未來將與光刻設備并行發(fā)展，發(fā)揮至關重要的作用，而原子力顯微鏡作為精度最高的量測設備，在先進制程中正在成為量檢測主力設備。埃米儀器僅成立2年時間便成功研發(fā)出國內首臺在線工業(yè)級原子力顯微鏡并已實現(xiàn)在某頭部芯片客戶交付。同時，公司通過推動高通量AFM、混合量測等方式彌補傳統(tǒng)AFM機臺在量檢測速度的限制，將大大拓寬傳統(tǒng)原子力顯微鏡的應用領域。