國家知識產權局信息顯示,蘇州立琻半導體有限公司申請一項名為“p型AlGaN材料及其制備方法、紫外光電子器件的制備方法”的專利,公開號CN 119133328 A,申請日期為2024年11月。
專利摘要顯示,本申請涉及一種p型AlGaN材料及其制備方法、紫外光電子器件的制備方法,屬于半導體技術領域,p型AlGaN材料的制備方法包括:在第一溫度下,通入有機金屬源和N源,生長p型AlGaN材料;暫停通入有機金屬源,在第二溫度下保持一定時間,使p型AlGaN材料中的部分Ga原子逸出,從而在p型AlGaN材料中產生陽離子空位;其中,第二溫度高于第一溫度,第二溫度與第一溫度的差值的范圍為20℃至200℃。由此,提高了p型AlGaN材料的空穴濃度。