國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,成都士蘭半導(dǎo)體制造有限公司申請一項(xiàng)名為“半導(dǎo)體外延結(jié)構(gòu)及其制備方法”的專利,公開號 CN 119181725 A,申請日期為2024年9月。
專利摘要顯示,本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體外延結(jié)構(gòu)及其制備方法,其中半導(dǎo)體外延結(jié)構(gòu)從下至上依次包括:襯底、外延阻擋層、第一外延層、阻擋柵以及第二外延層,阻擋柵包括至少兩個(gè)無摻雜結(jié)構(gòu)層。本發(fā)明通過阻擋柵的設(shè)計(jì)可以降低外延自摻雜效應(yīng),解決外延層過渡區(qū)平緩的問題。