國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司取得一項(xiàng)名為“一種水平氣流SiC外延設(shè)備石英鐘罩內(nèi)壁清潔工具”的專利，授權(quán)公告號CN 222241784 U，申請日期為2023年12月。

專利摘要顯示，本實(shí)用新型公開了一種水平氣流SiC外延設(shè)備石英鐘罩內(nèi)壁清潔工具，包括手持桿和清洗頭，手持桿的一端與清洗頭連接，清洗頭的外側(cè)面設(shè)有中間環(huán)形凹槽和兩個側(cè)環(huán)形凹槽，中間環(huán)形凹槽位于兩個側(cè)環(huán)形凹槽之間，中間環(huán)形凹槽內(nèi)間隔設(shè)有多個真空吸氣孔，兩個側(cè)環(huán)形凹槽內(nèi)均間隔設(shè)有多個氬氣吹氣孔，手持桿的軸向?yàn)橹锌战Y(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)有真空管道和氬氣管道。本實(shí)用新型能夠?qū)A筒形石英鐘罩的內(nèi)壁進(jìn)行擦拭、吸塵、氣吹三個清潔功能合到一起，清潔覆蓋面更全：與圓筒形石英鐘罩的內(nèi)壁具有更好的貼合性，能保證石英鐘罩的清潔效果符合爐膛反應(yīng)需求。

天眼查資料顯示，廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司，成立于2009年，位于東莞市，是一家以從事批發(fā)業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本36319.8011萬人民幣，實(shí)繳資本36319.8011萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司共對外投資了2家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目112次，知識產(chǎn)權(quán)方面有商標(biāo)信息8條，專利信息108條，此外企業(yè)還擁有行政許可65個。