近日，晶馳機電開發(fā)的8英寸碳化硅（SiC）電阻式長晶爐順利通過客戶驗證，設(shè)備穩(wěn)定性和工藝穩(wěn)定性均滿足客戶需求。

圖1   8英寸碳化硅晶驗收晶錠

技術(shù)創(chuàng)新，引領(lǐng)未來

此次推出的8英寸碳化硅電阻式長晶爐，是晶馳機電針對當(dāng)前市場需求精心打造的先進半導(dǎo)體材料制備新裝備。 

該設(shè)備采用獨特的結(jié)構(gòu)設(shè)計，結(jié)合最先進的過程控制理論和自動化控制方法，實現(xiàn)了長晶過程中工藝參數(shù)的精準(zhǔn)控制和設(shè)備運行的高度智能化。通過創(chuàng)新的熱場設(shè)計，實現(xiàn)均勻的徑向溫度和寬范圍精準(zhǔn)可調(diào)的軸向溫度梯度。熱場穩(wěn)定性高，使用壽命長，大幅提升了晶體的質(zhì)量和良品率。

圖2  8英寸碳化硅電阻式長晶爐 

電阻法工藝：簡化操作，加速普及

與傳統(tǒng)的感應(yīng)式碳化硅單晶設(shè)備相比，晶馳機電開發(fā)的電阻法SiC長晶爐簡化了工藝設(shè)計流程，熱場穩(wěn)定性高，熱場使用壽命長，多爐次生長單晶的一致性好，特別適合大尺寸碳化硅單晶生長。這一系列特點使得電阻法設(shè)備尤其適合希望快速進入SiC單晶生長領(lǐng)域但又缺乏深厚經(jīng)驗基礎(chǔ)的企業(yè)。

圖3  8英寸碳化硅驗收晶片位錯指標(biāo)

圖4  8英寸碳化硅驗收晶片微管缺陷指標(biāo) 

小批量交付，開啟合作新篇章

憑借卓越的技術(shù)性能和市場適應(yīng)性，晶馳機電8英寸碳化硅電阻式長晶爐已獲得多家客戶認(rèn)可，并正式開啟了小批量交付。這不僅是客戶對晶馳機電技術(shù)創(chuàng)新能力的肯定，也是晶馳機電市場策略精準(zhǔn)把握的證明。晶馳機電正積極尋求與更多碳化硅襯底材料廠家的深度合作，旨在共同推動SiC材料的應(yīng)用普及與技術(shù)迭代，共創(chuàng)行業(yè)輝煌。 

攜手合作，共創(chuàng)輝煌

晶馳機電作為浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心的孵化企業(yè)，將努力弘揚求是精神，秉持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展的理念，深化產(chǎn)學(xué)研合作，強化自主創(chuàng)新能力，不斷優(yōu)化產(chǎn)品性能，提高技術(shù)成果轉(zhuǎn)化效率，擴大生產(chǎn)規(guī)模，以滿足全球市場對高性能碳化硅材料日益增長的需求。 

晶馳機電銷售經(jīng)理趙耀表示：“我們很高興看到晶馳機電8英寸碳化硅電阻式長晶爐項目取得成功，這不僅是公司技術(shù)進步的表現(xiàn)，也是我們對市場需求快速響應(yīng)的結(jié)果。我們期待與更多合作伙伴共同推動半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。” 

本次技術(shù)突破和產(chǎn)品驗證的成功，不僅增強了晶馳機電在國內(nèi)外市場的競爭力，也為中國半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展注入了新的活力。

（來源：晶馳機電）