2025年1月6日，北方華創(chuàng)（002371）第1000臺立式爐正式出廠。這一成就不僅標(biāo)志著公司立式爐產(chǎn)品取得飛躍性進(jìn)展，更體現(xiàn)了中國集成電路設(shè)備制造實(shí)力的顯著提升。

立式爐作為集成電路制造的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于前道氧化、擴(kuò)散和退火等熱處理工藝，直接影響了半導(dǎo)體器件的性能。同時(shí)，立式爐可批量處理晶圓，提高生產(chǎn)效率，在當(dāng)前集成電路生產(chǎn)中占據(jù)越來越重要的位置。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，2024年立式爐全球市場規(guī)模已達(dá)32億美元，預(yù)計(jì)未來幾年將繼續(xù)保持穩(wěn)健增長。

2010年，北方華創(chuàng)首臺立式爐交付客戶。十余年內(nèi)，北方華創(chuàng)立式爐通過客戶端嚴(yán)格驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)，廣泛覆蓋邏輯、存儲、功率、先進(jìn)封裝及大硅片生產(chǎn)等關(guān)鍵領(lǐng)域，獲得客戶高度贊譽(yù)。2020年，北方華創(chuàng)第100臺立式爐交付。2023年6月，第500臺立式爐交付，僅1年零6個(gè)月后，第1000臺立式爐正式交付。千臺立式爐的成功出廠，體現(xiàn)了“華創(chuàng)速度”，是北方華創(chuàng)技術(shù)革新與品質(zhì)堅(jiān)守的有力見證，更是中國半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)邁向世界前列的堅(jiān)實(shí)一步。

北方華創(chuàng)立式爐的成功，得益于公司在技術(shù)層面的不斷創(chuàng)新和突破。立式爐設(shè)備以高精度的溫度控制能力，良好的成膜均勻性，以及先進(jìn)的金屬及顆粒污染控制技術(shù)，大幅提升了芯片良品率。近年來，北方華創(chuàng)還開發(fā)了一系列立式爐新技術(shù)，進(jìn)一步鞏固自身在行業(yè)中的技術(shù)領(lǐng)先地位。2024年，北方華創(chuàng)發(fā)布等離子體增強(qiáng)氮化硅原子層沉積立式爐（型號：DEMAX SN302P），深受邏輯與存儲領(lǐng)域頭部客戶的青睞；同年發(fā)布了間隙填充氧化硅原子層沉積立式爐（型號：DEMAX SN302T），成為3D NAND閃存生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備。此外，300mm立式氧化爐（型號：THEORIS X302P）自2017年進(jìn)入高端 3D NAND生產(chǎn)線后，憑借先進(jìn)的自動(dòng)化、穩(wěn)定性和技術(shù)指標(biāo)，屢獲批量訂單，成為客戶首選。

展望未來，北方華創(chuàng)將秉持銳意進(jìn)取的精神，在集成電路設(shè)備的新征程中領(lǐng)航破浪，以卓越品質(zhì)致敬未來。 

（來源： 北方華創(chuàng)官微）